低溫等離子處理設備一般可分為真空低溫等離子處理設備和常壓低溫等離子處理設備兩大類。
一、真空低溫等離子體處理設備
 真空低溫等離子體處理設備是一種在低氣壓工作環境下，根據所需處理工件的處理目的不同，可通入各種與工件表面發生反應的化學元素氣氛，并饋入不同頻率、不同功率的電壓使這些氣氛被激發電離，這些被電離的、帶有很高能量的電子和粒子對工件表面進行反應，達到對工件表面清洗、活化、刻蝕和沉積的作用，這些帶正負粒子的離子化氣體由于其正負電荷總量平衡，所以總體上呈電中性，由這種等離子體與工件表面反應后所產生的、漂浮在腔體內的新的粒子將被為維持腔體內真空度而不斷運轉的真空泵抽出真空腔體，也即：低溫等離子體處理過程中產生的微觀污染物會被真空泵不斷抽出腔體。

真空低溫等離子處理設備的特點：
  1、高能量的低溫等離子體處理。
  2、電中性、無靜電的處理空間。
  3、根據不同的氣氛組合，可實現多樣化的工藝效果。
  4、對工件結構無特殊要求，能做到全方位3D處理。
  5、清洗功能可真正實現無殘留，徹底超凈化。

二、常壓低溫等離子體處理設備
    常壓低溫等離子體處理設備是一種在常壓大氣工作環境下，產生各種等離子焰體的設備。阿爾銘晟用國外最先進的技術，根據各個行業的不同用途、不同處理材料和工件外形，開發設計制造了諸如：射流低溫等離子體處理設備、DBD介質阻擋放電等離子處理設備、滑動電弧低溫等離子體處理設備等等，以適應各種不同的工藝需求，詳見阿爾銘晟網站中的“產品展示”欄所示。

常壓低溫等離子處理設備的特點：
  1、去除了復雜的真空系統，價格較低，使用靈活，作業便捷。       
  2、適用于在線式生產現場，便于實現自動化作業，容易與客戶原有的自動化流水線配套。
  3、具表面清洗、活化、粗化功能，不適合需要做沉積、接枝的表面處理。
  4、維護簡單，方便。