一、對材料表面的粒子轟擊，物理作
等離子體中的在量離、激發態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，
等離子表面清洗機不但清除了表面原有的污染和雜質，而且會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細均勻的形貌，增大了樣品的比表面。提高固體表面的附著性能。
二、激活鍵能，交聯作用
等離子體中的粒子能量在0-20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0-10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網關的交聯結構，大大地激活了表面活性。
三、形成親的官能團，化學作用
如果放電氣體中引入反應性氣體，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，在活化的材料表面發生復雜的化學反應，這些官能團都是活性基團，明顯提高材料的表面活性。
